EBARA Neubau: automatisierte Großanlage für Vakuumpumpen

Kapazitätserweiterung für optimierten Workflow

Automatische Pumpenmodul-Montage (Bildquelle: @ EBARA)

München, 22. Mai 2023. Auf rund 18.450 Quadratmetern erstreckt sich die neuerrichtete Produktionsstätte der EBARA Corporation im japanischen Fujisawa nahe Tokio. Die Besonderheit: Es ist eine voll automatisierte Fabrik. Hergestellt werden hier trockene Vakuumpumpen für den internationalen Markt. Trockene Vakuumpumpen sind für die Herstellung von Halbleitern, Flachbildschirmen, LEDs und Solarzellen absolut unerlässlich. Als Visionär und Ideengeber der Branche hat EBARA eine innovative Produktionsumgebung mit automatisierten Prozessen implementiert.

Die automatisierte Fabrik
Firmeneinweihung war im Jahr 2020, sukzessive ging der Montageprozess von Rotor- und Gehäuseverarbeitungslinie ab Oktober in Betrieb. Inzwischen sind alle Prozessstufen von der Materialbereitstellung über Bearbeitung, Montage, Lager und Versand implementiert, und der intelligente Workflow im Vorzeigewerk läuft nach Plan. Wegweisend für die Effizienz der Produktion ist der hohe Automatisierungsgrad mit verringerten Prozessstufen und reduzierten Rüstzeiten durch optimierte Losgrößen bei Verarbeitung und Montage. Wichtige Automatisierungsmodule sind der autonome RFID-Roboterbetrieb, die automatische Modul-Montagelinie, das Flottenmanagementsystem samt unbemanntem Inline-Transport, ein Real-Time-Management mittels IoT (Internet of Things, Factory 4.0) und die integrierte Prozessbündelung aller anfallenden Tätigkeiten an einem Standort. Dadurch erreicht EBARA eine maximal gesteigerte Produktionskapazität mit einer Verdopplung der Bearbeitungskapazität und einer Verdreifachung der Montagekapazität.

Integriertes Qualitätsmanagement
Der hohe Automatisierungsgrad trägt wesentlich zur strikten Fehlerreduktion bei, sichert das Rückverfolgungsmanagement mittels Serienprägung und liefert digitalisierte Analysedaten entlang des kompletten Fertigungsprozesses. Die integrierte Bündelung aller anstehenden Abläufe führt zu höchster Zuverlässigkeit hinsichtlich Liefer- und Termintreue, beugt Lieferengpässen vor, sichert reduzierte Lieferzeiten und optimierte Vertriebsprozesse. „Das neue Werk ist ein wichtiger Meilenstein für den EBARA „Vision 2030″-Plan“, so Dr. Reinhart Richter, Geschäftsführer EBARA Precision Machinery Europe. Ausgelegt ist das Werk auf die Produktion von mehr als 20.000 Einheiten jährlich.

Innovativ handeln
„Als weltweit führender Lieferant für Vakuumpumpen sind wir unserer technologischen Verantwortung gegenüber unseren Kunden bewusst“, informiert Dr. Reinhart Richter. „Leitmotive unseres Unternehmens sind fortlaufende Verbesserungen, eine schlanke Produktion sowie ein kontinuierlich sinkender Ressourcenverbrauch, auch bei unseren Kunden.“ Für EBARA Kunden ist reduzierter Kühlwasser- und Energieverbrauch beim Betrieb der Vakuumpumpen essenziell wichtig zur Erreichung ihrer Nachhaltigkeitsziele. Ebenso erwarten sie vom Lieferanten ein gutes Nachhaltigkeitsmanagement. EBARA verfolgt konsequent Netto-Null-Emissionen bis 2050 und hat die ISO 14001 Zertifizierung in allen Werken weltweit erreicht.

Weitere Bauvorhaben
Die automatisierte Fabrik ergänzt die im Jahr 2019 in Betrieb gegangene benachbarte Entwicklungsabteilung samt Innovation Lab für trockene Vakuumpumpen und Gasreinigungssysteme. Auf dem weitläufigen Unternehmensgelände in Fujisawa, übrigens ein früherer Flughafen mit eindrucksvollem Blick auf den Fuji, Japans größtem Berg und Weltkulturerbe, ist seit Oktober 2022 ein weiteres Gebäude in Bau, um den Innovationen der Zukunft Raum zu bieten. Bereits projektiert ist auch eine neue 14.500 Quadratmeter große Produktionsanlage im Süden Japans zur Kapazitätserweiterung.

Über EBARA
Die EBARA Precision Machinery Europe (EPME) GmbH mit Hauptsitz in Sauerlach bei München ist die europäische Vertriebs- und Servicegesellschaft der EBARA Corporation Tokio. EBARA ist ein weltweit führender Produzent von Vakuum- und Halbleitersystemen, die zur Herstellung von Wafern, Flüssigkristallen, Solarzellen und anderen Hightech-Produkten verwendet werden. Die EBARA Corporation wurde 1912 von Issey Hatakeyama gegründet und beschäftigt über 19.000 Mitarbeiter weltweit. Mit einem Umsatz von 4,7 Mrd. Euro jährlich zählt EBARA zu den zwei größten Unternehmen der Branche. EBARA beliefert 16 der Top 20 Hersteller der Chip-Industrie.

Über EBARA Precision Machinery Europe
Das EPME-Portfolio umfasst Trocken- und Turbomolekular-Vakuumpumpen sowie moderne Gasreinigungs-Anlagen für beispielsweise die chemische Industrie. Zudem vertreibt EPME hochmoderne CMP-Tools, Waferfasenpolier- und Substratbeschichtungssysteme für die Chipherstellung. 2021 eröffnete EBARA in Dresden sein zweites modernes Überholzentrum für Vakuumpumpen. In Livingston (UK) betreibt EPME seit 1994 ein Überholzentrum für Vakuumpumpen. In Europa und Israel beschäftigt EPME über 200 Mitarbeiter.

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Ebara Precision Machinery Europe GmH
Gabriela Schmid
Mühlweg 2C
82054 Sauerlach
0049 173 7044 606
www.ebara-pm.eu

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